一、高真空插板阀的工作原理

高真空插板阀分为：单密封真空阀、双密封真空阀，适用于超高真空系统中切断或接通气流之用。适用的工作介质为洁净的空气以及腐蚀性气体。采用触摸屏+实体按钮操作，实现阀门的开、关、停止、急停等控制功能。同时为便于现场人员发现和排除故障，每套阀门的控制系统现场都有醒目的运行及故障报警指示。可实现远程/本地控制切换、互锁功能。

单密封真空阀：电机通电后通过过扭保护联轴器带动滚珠丝杠转动，丝母连接固定在框架组件上，滚珠丝杠带动丝母及框架组件做直线运动。将安装在阀板上的密封件压紧在阀体下板的密封面上，实现真空密封；

双密封真空阀门：电机通电后通过过扭保护联轴器带动滚珠丝杠转动，丝母固定在框架组件上，滚珠丝杠带动丝母及框架组件做直线运动，框架组件通过上下各八组四连杆机构与两个阀板连接，当阀板通过框架组件的运动到达密封位置时，将两个阀板上的密封件同时压紧在阀体上、下板的密封面上实现真空双密封；